关于MEMS器件，这一篇就够了 - 知乎 - 知乎专栏
眼下，mems产品主要分为传感器和执行器两大类，其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，执行器则是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。
【科普】什么是MEMS？4步图解MEMS芯片制造 - 知乎
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 是利用微细加工技术，将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。
50+图片，从未如此直观！10种主流MEMS器件原理全看透 - 知乎
mems传感器就是把一颗mems芯片和一颗专用集成电路芯片（asic芯片）封装在一块后形成的器件。 下图是一张典型的MEMS麦克风内部构造示意图，来自中国MEMS第一大厂歌尔微电子。
MEMS是怎样的技术，哪些已经民用了？ - 知乎
mems的快速发展是基于mems之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。 mems往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，mems器件加工技术并非机械式。
什么是MEMS？4步图解MEMS芯片制造 - 与非网
2023年11月2日 · 本文以最清晰明了的方式，图解直观阐述mems传感器芯片的制造过程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。
这是我看过最棒的MEMS介绍文章，从原理制造到应用全讲透（强推）|元件|传感器|滤波器|mems…
2023年8月10日 · mems的快速发展是基于mems之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。mems往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，mems器件加工技术并非机械式。
什么是 MEMS 技术？了解晶圆测试中的 MEMS
mems 技术在我们身边无处不在。本文将深入探讨 mems 是什么以及它在晶圆测试中的应用。
MEMS - ROHM
何谓mems？ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 是利用微细加工技术，将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。
这是我看过最棒的MEMS介绍文章，从原理制造到应用全讲透
mems的快速发展是基于mems之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。mems往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，mems器件加工技术并非机械式。
综述：MEMS集成设计与制造技术进展-电子工程专辑
2024年10月11日 · 然而，随着mems技术的发展，mems器件正变得越来越复杂，单一、固定流程的设计方法已经无法满足功能、原理、工艺各异的mems器件对设计方法的需求，必须在设计流程方面有所改进。 图2 自底向上设计方法流程图. 图3 结构化设计流程图
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